半導(dǎo)體行業(yè)中的濕度要求
半導(dǎo)體的生產(chǎn)工廠要在全年四季的氣候條件下,生產(chǎn)車(chē)間內(nèi)部要求維持穩(wěn)定的環(huán)境,特別是對(duì)于生產(chǎn)環(huán)境的溫度、濕度、空氣潔凈度、氣流組織,壓力平衡等多個(gè)空調(diào)參數(shù)都提出了嚴(yán)格的要求。有別于其他的恒溫恒濕環(huán)境系統(tǒng)的要求,由于電子產(chǎn)品對(duì)靜電的敏感性和高濕度環(huán)境對(duì)其品質(zhì)的影響,其對(duì)濕度的精度提出了嚴(yán)格要求,對(duì)于空調(diào)系統(tǒng)的配置,則要求系統(tǒng)同時(shí)具備夏季除濕的功能和冬季加濕的功能。
一般的,半導(dǎo)體生產(chǎn)行業(yè)的溫濕度條件為: T=22 ± 2 ° C , RH=45 ± 5% ;而對(duì)于這個(gè)溫濕度要求,傳統(tǒng)上經(jīng)常采用冷凍除濕 + 后加熱(再熱)方式進(jìn)行處理,并取得了一定成果。但這種方式卻存在著一個(gè)致命問(wèn)題,冷熱的抵消和能耗的巨大浪費(fèi),特別是由于半導(dǎo)體行業(yè)的大新風(fēng),大排風(fēng)系統(tǒng)、生產(chǎn)環(huán)境為大空間潔凈環(huán)境以及目前許多廠主要集中分布在華南和華東地區(qū)的特殊情況,使得這個(gè)問(wèn)題十分突出。
因此,在最新的許多半導(dǎo)體廠房的空調(diào)系統(tǒng)開(kāi)始使用新風(fēng)通過(guò)新風(fēng)機(jī)組(冷卻除濕)和轉(zhuǎn)輪除濕機(jī)聯(lián)合處理濕度、溫度而后通過(guò)后空調(diào)機(jī)組處理的組合方式, 達(dá)到室內(nèi)送風(fēng)溫、濕度要求,并取得了顯著收益。